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1、當入口管被蓋住或被堵塞,不要啟動計數儀(yi)
| 潔淨度級別 | 懸浮粒子大允許數/立方米 | |||
| 靜態 | 動態 | |||
| ≥0.5μm | ≥5.0μm | ≥0.5μm | ≥5.0μm | |
| * | 3520 | 20 | 3520 | 20 |
| B級 | 3520 | 29 | 352000 | 2900 |
| C級 | 352000 | 2900 | 3520000 | 29000 |
| D級 | 3520000 | 29000 | 不作規 | 不作規 |