納米級別二氧化矽

納米級別二氧化矽

納米二氧化矽™尺寸標準

MSP Corporation 的 NanoSilica™Size Standards 是 SiO2顆粒的濃縮水懸浮液，具有高度均勻的尺寸分布。

這些粒徑標準目前提供的標稱尺寸範圍為(wei) 15 至 200 nm，非常適合為(wei) 下一代晶圓和光掩模檢測係統生產(chan) 高質量校準標準。

雖然 MSP 23000NPT 係列和 2300G3 係列粒子沉積係統為(wei) 表麵缺陷校準標準的生產(chan) 提供了最佳結果，但較舊的 MSP 係統和其他製造商的係統也適用於(yu) 納米二氧化矽尺寸標準。

特征

+ 極其均勻的尺寸分布

我們(men) 的納米二氧化矽尺寸標準采用獲得**的 SiO2合成工藝開發，其尺寸分布比市售的 PSL 球更窄。

+ 使用 SI 可追溯性測量的峰直徑

允許產(chan) 量提高和計量小組根據 ISO 9000 標準和 SEMI 指南建立其檢查和缺陷審查方法的可追溯性。

+ 受到強烈 DUV 輻射時穩定

MSP 的 SiO2顆粒在暴露於(yu) DUV 輻射時不會(hui) 降解，這與(yu) PSL 球體(ti) 不同，PSL 球體(ti) 的尺寸會(hui) 減小。

+ 易於(yu) 使用

NanoSilica 顆粒懸浮液在滴管瓶中提供，以便在您的應用中混合具有適當數量濃度的懸浮液時使用方便。

+ 高粒子濃度

一些應用需要高濃度。 MSP 的顆粒濃度是業(ye) 內(nei) 最高的之一。

+ 輕鬆辨別模態（峰值）直徑

+ 避免由於(yu) 平均和峰值直徑值之間的差異而導致的差異

+ 製備適用於(yu) 效率相對較高或較低的氣溶膠產(chan) 生裝置的稀釋懸浮液

+ 為(wei) ***的檢測工具創建持久的校準標準

+ 消耗更少的材料；存錢

+ 隨附校準和可追溯性證書(shu) 以及帶有處理和處置說明的安全數據表 (SDS)

1給定目錄號的認證直徑將在規定範圍內(nei) 提供。

2相對半高寬（半高全寬）； FWHM 除以模態直徑。

規格

NanoSilica™ 微粒子標準溶液是由MSP Corporation製作的高度均勻尺寸SiO2微粒子濃縮水溶液，微粒子尺寸從(cong) 18nm到200nm都可選擇，是市麵上***、高質量的校正標準，適用於(yu) 最新一代的晶圓表麵汙染/缺陷檢查係統及光罩檢查係統。

***的半導體(ti) 檢查技術已經發展到小於(yu) 30nm，以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即可做晶圓表麵汙染/缺陷檢查係統及光罩檢查係統的校正，但新一代的檢查係統使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能檢查小於(yu) 20nm的汙染或缺陷，當UV光重複打在PSL球形化粒子上，將影響到PSL球形化粒子的質量; 由於(yu) SiO2微粒子在DUV及EUV的照射下擁有穩定的質量，因此SiO2微粒子是最佳的替代產(chan) 品。

NanoSilica™ 微粒子標準溶液是使用有**的SiO2合成技術，可以做到如PSL球形化粒子一樣的尺寸分布，從(cong) 目前最小的微粒子尺寸來看，NanoSilica™ 微粒子標準溶液是尺寸最均勻，適合做尺寸大小峰值的量測的工具。

NIST-traceable NanoSilica™ 微粒子標準溶液是MSP Corporation透過National Institute of Standards and Technology (NIST)追溯到標準單位的產(chan) 品，加上ISO 9000與(yu) SEMI的認證，讓良率提升及表麵檢查和缺陷評估有所依據。

NanoSilica™ 微粒子標準溶液使用15-mL滴定，讓使用者操作更方便。每一瓶溶液的卷標皆標示產(chan) 品編號、生產(chan) 編號、微粒子尺寸峰值、尺寸分布半高寬及有效期限，而且提供NIST-traceable證明書(shu) 與(yu) Material Safety Data Sheet (MSDS)說明書(shu) 。

產(chan) 品優(you) 勢
•尺寸大小分布均勻
•NIST traceability 的尺寸大小
•DUV及EUV的照射下擁有穩定的質量
•高濃縮度微粒子懸浮溶液

產(chan) 品效益
•易於(yu) 微粒子撒粒係統、晶圓表麵汙染/缺陷檢查係統或各類分析儀(yi) 器偵(zhen) 測與(yu) 量測尺寸峰值
•可避免平均尺寸與(yu) 尺寸峰值的差異性
•適合氣膠產(chan) 生設備使用
•提供耐久校正標準給*進的檢測設備使用
•省錢而且耗用量少